當前位置：首頁 > 技術文章
在現(xiàn)代精密測量領域，白光干涉儀猶如一雙超高分辨率的"電子眼"，能夠捕捉物質表面微觀結構的三維信息。這種基于光學干涉原理的儀器，以其亞納米級的測量精度，成為材料科學、精密制造和光學檢測等領域的重要工具。一、表面形貌的高清呈現(xiàn)白光干涉儀最核心的...
硅片作為半導體、光伏及微電子等領域的核心材料，其厚度精度直接影響產品質量與性能。不同應用場景對厚度測量提出多樣化需求，催生出一系列精準高效的測量技術。本文結合技術原理與實際應用場景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量：機械與壓電技術的結合1.機械測微計法通過螺旋測微器或千分尺對硅片進行接觸式測量，操作簡單直觀。然而受限于測量點數(shù)量，僅適用于抽檢，且可能因壓力導致表面微損傷，適用于低精度要求的場合。2.電感測微儀利用電感線圈對距離變化的敏感性，通過接觸式測頭檢測厚度變...
在半導體制造、光伏產業(yè)等精密制造領域，硅片厚度是影響芯片性能、太陽能電池效率的核心參數(shù)之一。硅片厚度測量儀作為一種高精度檢測工具，其正確的操作方法直接關系到測量數(shù)據的可靠性。本文從基礎到進階，系統(tǒng)解析測量儀的操作要點，助力工程師快速掌握這一關鍵技術。一、測量前的準備工作1.清潔與環(huán)境控制①使用無塵布和酒精擦拭硅片表面，避免指紋、油漬等污染影響測量精度。②確保實驗室溫度穩(wěn)定在（23±2）℃、濕度≤60%，防止熱脹冷縮導致誤差。2.設備預熱與校準①開機后等待10-1...
3D劃痕儀作為材料表面力學性能分析的核心工具，其核心功能在于通過精密力學加載與三維形貌成像的協(xié)同作用，實現(xiàn)涂層附著力、表面硬度等參數(shù)的量化評估。本文從機械結構、信號采集與數(shù)據處理三方面解析其工作原理。一、機械結構：多軸聯(lián)動與模塊化設計的協(xié)同3D劃痕儀采用高精度XYZ三軸運動平臺，其中Z軸配備閉環(huán)控制加載系統(tǒng)，可實現(xiàn)恒定力、遞增力或臺階增力加載模式。劃痕頭通過壓電陶瓷驅動器提供亞納米級位移精度，加載力范圍覆蓋1000mN至200N，滿足從納米涂層到宏觀材料的測試需求。設備支持快...
在現(xiàn)代半導體制造和微納加工領域，光刻機是實現(xiàn)精密圖形轉移的關鍵設備。其中，接觸式光刻機以其特殊的工藝和高精度，在芯片制造等行業(yè)發(fā)揮著重要作用。那么，它的精度究竟有多高呢？接觸式光刻機的精度通常以線寬和分辨率來衡量。線寬指的是能夠清晰制造出的最小線條寬度，而分辨率則是光刻機能夠分辨和復制出的最小特征尺寸。一般來說，高級的設備能夠達到亞微米甚至納米級別的精度。在早期，隨著技術的發(fā)展，設備的線寬精度從幾十微米逐步提升到了微米級別。這一進步使得芯片制造能夠在更小的尺寸上集成更多的電路...
在材料科學、微電子制造以及精密機械加工等多個領域，對表面微結構的研究和分析至關重要。其中，凹坑的平均深度是一個關鍵參數(shù)，對于評估材料性能、產品質量等具有重要意義。而三維形貌儀作為一種先進的測量分析儀器，在計算凹坑平均深度方面發(fā)揮著不可替代的作用。三維形貌儀能夠以較高的分辨率和精度獲取物體表面的三維形貌信息。其工作原理通?；诠鈱W干涉、激光掃描或其他高精度探測技術。在測量過程中，儀器會發(fā)射出特定的探測信號，當信號照射到物體表面時，不同的反射強度和相位變化會反映出表面的微觀幾何特...